Forschung
Nr. 38

Ein Laser-Blick auf ultradünne Schichten

Florian Aigner | Büro für Öffentlichkeitsarbeit

Polarisationsmodulation eines Lasers mit photoelastischem Kristall

Wenn man große Flächen mit hauchdünnen Schichten im Mikrometer- oder Nanobereich überzieht, passieren leicht Fehler. Oft kann man die Dicke der aufgebrachten Schicht erst untersuchen, nachdem der Beschichtungsvorgang abgeschlossen ist. Mit einigen technischen Tricks gelang es nun aber einem Forschungsteam der TU Wien, ein Gerät zu entwickeln, das direkt in Beschichtungsanlagen eingebaut werden kann. Das „Inline-Ellipsometer“ ermöglicht eine zuverlässige Qualitätskontrolle im laufenden Betrieb.

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